各類混合機的應(yīng)用和發(fā)展　　

我國生產(chǎn)真空混合機的廠家很多，全部真空混合機的年銷售額大約在1、5億元左右，僅相當(dāng)于一家真空混合機的年銷售額。通過對全球真空混合機市場的分析我們可以看出，各類真空混合機的市場及應(yīng)用領(lǐng)域都在不斷變化和發(fā)展。我國真空混合機制造業(yè)有著悠久的歷史和雄厚的基礎(chǔ)，國產(chǎn)真混合機已經(jīng)在各個不同領(lǐng)域得到應(yīng)用并經(jīng)過驗證，有些混合機還出口國外，得到國外用戶的認可并受到好評，應(yīng)該說我國真空混合機制造業(yè)在國內(nèi)外市場仍然有著巨大的發(fā)展空間。

1、液環(huán)混合機　　

雖然液環(huán)混合機屬于粗真空混合機，但在我國的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫(yī)藥等領(lǐng)域仍然有著很大的市場。在國外，液環(huán)混合機的銷售額占全部真空混合機市場的14％，僅次于干混合機，所以Nash、Seimems和Kinney等公司都在我國投資建廠或建立銷售網(wǎng)絡(luò)，不斷擴大在我國的市場份額。由于液環(huán)混合機大部分是鑄件，加工要求也不高，屬勞動密集型產(chǎn)品，所以國產(chǎn)液環(huán)混合機在價格上有競爭優(yōu)勢，關(guān)鍵是要改進設(shè)計，縮小體積，減輕重量，提高效率，降低能耗。

2、滑閥混合機　　

由于滑閥混合機比較耐用、可靠，國內(nèi)外各種真空爐、鍍膜機以及干燥、浸漬等設(shè)備都是用滑閥混合機作為前級混合機，但是滑閥混合機鑄件重，加工工作量較大，所以國外各真空廠都在中國尋找合作伙伴。為了使國產(chǎn)滑閥混合機能夠進入國際市場，必須進一步降低混合機的振動噪聲，杜絕噴油和漏油，提高滑閥混合機長期運行的可靠性。

3、直聯(lián)旋片混合機　　

隨著真空技術(shù)在各個應(yīng)用領(lǐng)域的不斷擴大，直聯(lián)旋片混合機的需求量越來越大。由于這種混合機數(shù)量很多，加工裝配工作量很大，價格又很低，所以有的國外真空廠商在中國建立專業(yè)廠。國產(chǎn)中小型直聯(lián)旋片混合機在技術(shù)上已經(jīng)過關(guān)，價格又遠比國外的混合機便宜，所以國產(chǎn)混合機仍然有競爭優(yōu)勢，關(guān)鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空混合機油的性能質(zhì)量問題，確保直聯(lián)混合機在高速、高溫下性能穩(wěn)定和運行可靠，同時還要進一步提高國產(chǎn)直聯(lián)旋片混合機抽除水蒸氣的能力。

4、羅茨混合機　　

從國外羅茨混合機生產(chǎn)情況來看，他們各家羅茨混合機的銷售額占全球羅茨混合機銷售額的比例都沒超過5％，這5家總計才20％，羅茨混合機產(chǎn)量不大，但國外羅茨混合機的價格遠比國產(chǎn)混合機要高得多。目前，國內(nèi)外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統(tǒng)，為了縮短抽氣時間、提高生產(chǎn)效率都配有羅茨混合機，所以國產(chǎn)羅茨混合機一定要在占領(lǐng)國內(nèi)市場基礎(chǔ)上設(shè)法進入國際市場，這樣就必須進一步降低國產(chǎn)羅茨混合機的振動噪聲，徹底解決軸封漏油問題，改進混合機的外觀質(zhì)量，提高混合機內(nèi)的光潔度和清潔度。另外，還要考慮到有些國家和地區(qū)的電源頻率為60Hz，更要確保羅茨混合機在提高轉(zhuǎn)速的情況下長期運行的可靠性?！　?/p>

目前，國內(nèi)氣冷式直排大氣羅茨混合機進展很快，技術(shù)上已經(jīng)成熟。由于這種混合機在排氣口的下面裝有氣體冷卻器，其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回混合機腔以冷卻轉(zhuǎn)子，從而使壓縮熱得平衡，所以這種混合機可以直排大氣。為了滿足不同極限真空度的要求，這種混合機可以串聯(lián)使用，一般前面加一臺氣冷式直排大氣羅茨混合機，所達到的極限真空要比前級混合機高一個數(shù)量級。這種混合機由于在混合機腔內(nèi)沒有工作介質(zhì)，實際上也是屬于干混合機。目前，這種氣冷式直排大氣羅茨混合機及機組已經(jīng)在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、汽輪機轉(zhuǎn)子動平衡。

5、分子混合機　　

分子混合機在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫混合機，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都彩 復(fù)合分子混合機和牽引混合機作為主混合機。　　由于分子混合機對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫混合機抽速的四分之一，所以分子混合機的排氣時間比低溫混合機長。為了提高抽速，國外在分子混合機的入口側(cè)裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子混合機，水蒸汽被低溫板捕獲，其他氣體則由分子混合機抽走。這種低溫分子混合機在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著我國半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子混合機應(yīng)該是我國真空混合機制造業(yè)發(fā)展的重點。首先，分子混合機要從小到大建立完整系列，并研究開發(fā)各種復(fù)合分子混合機、牽引混合機和低溫分子混合機，以滿足不同場合的需要。

6、干混合機　　

國外干混合機市場的不斷增長，其主要驅(qū)動來自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本，半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空混合機代替油封式機械混合機，歐美半導(dǎo)體行業(yè)45％以上用干式真空混合機代替了油封式機械混合機，大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空混合機、多級爪式真空混合機、螺桿式真空混合機、渦旋式真空混合機、往復(fù)式活塞真空混合機以及渦輪式無油真空混合機等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。據(jù)統(tǒng)計，目前國產(chǎn)干混合機的應(yīng)用還不足1％，國內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用的干混合機全部從國外進口，其價格十分昂貴。所以，我國應(yīng)大力研究開發(fā)干混合機，使干混合機成為我國真空工業(yè)新的經(jīng)濟增長點。